美國(guó)Siargo 氣體質(zhì)量流量計(jì) MEMS流量傳感芯片 - MF3000系列

  • 美國(guó)Siargo 氣體質(zhì)量流量計(jì) MEMS流量傳感芯片
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質(zhì)量流量，時(shí)域傳感技術(shù)
全量程覆蓋（0~2）SLPM到（0~1500）SLPM
全量程高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性
可測(cè)量多種氣體不需要特別修正
多種輸出信號(hào)可選
支持多種連接方式，易于安裝與使用

產(chǎn)品型號(hào)：
MF3000系列
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產(chǎn)品介紹

美國(guó)Siargo 氣體質(zhì)量流量計(jì) MEMS流量傳感芯片 MF3000系列 描述：


MF3000系列氣體質(zhì)量流量計(jì)采用旁路設(shè)計(jì)并使用本公司專(zhuān)有的MEMS流量傳感芯片，集成了時(shí)域流量傳感技術(shù)和智能電子技術(shù)。與市場(chǎng)上傳統(tǒng)的量熱式流量傳感技術(shù)相比，這種獨(dú)特的時(shí)域流量傳感技術(shù)消除了一些常見(jiàn)氣體的敏感性。而對(duì)于另外一些敏感性氣體，可以配合軟件實(shí)現(xiàn)氣體識(shí)別。MEMS芯片表面采用氮化硅陶瓷材料鈍化，并結(jié)合防水、防油納米涂層，產(chǎn)品性能和可靠性得以大幅提高。時(shí)域流量傳感技術(shù)還提供了更好的線性度，并使溫度效應(yīng)大幅降低。

MF3000系列氣體質(zhì)量流量計(jì)能直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量，適用于各類(lèi)清潔、干燥氣體。MF3000測(cè)量范圍覆蓋（O~2）SLPM到（O~1500）SLPM，大工作壓力提高到0.8MPa。MF3000提供多種信號(hào)輸出，通過(guò)RS485或IC數(shù)字通訊接口可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)采集與設(shè)置，并可選擇NPN或PNP開(kāi)關(guān)信號(hào)輸出。MF3000同時(shí)具備LED數(shù)字顯示和按鍵功能，允許用戶(hù)在現(xiàn)場(chǎng)調(diào)整或查詢(xún)流量計(jì)的參數(shù)。



美國(guó)Siargo 氣體質(zhì)量流量計(jì) MEMS流量傳感芯片 MF3000系列 產(chǎn)品特點(diǎn)：

質(zhì)量流量，時(shí)域傳感技術(shù)
全量程覆蓋（0~2）SLPM到（0~1500）SLPM
全量程高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性
可測(cè)量多種氣體不需要特別修正
多種輸出信號(hào)可選

支持多種連接方式，易于安裝與使用


美國(guó)Siargo 氣體質(zhì)量流量計(jì) MEMS流量傳感芯片 MF3000系列  參數(shù)：







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